测控技术2023，Vol.42Issue(11)：1-5,39,6.DOI:10.19708/j.ckjs.2023.02.217
高温陶瓷薄膜热流传感器动态响应有限元分析
Finite Element Simulation of Dynamic Response of High Temperature Ceramic Thin-Film Heat Flux Sensor
张梅菊 1郭怡雪 2黄漫国 1杜子睿 2康志鹏 2张丛春2
作者信息
- 1. 航空工业北京长城航空测控技术研究所,北京 101111||状态监测特种传感技术航空科技重点实验室,北京 101111
- 2. 上海交通大学电子信息与电气工程学院微纳电子学系,上海 200241
- 折叠
摘要
关键词
高温/薄膜热流传感器/ITO/In2O3热电堆/有限元分析/动态响应Key words
high temperature/thin-film heat flux sensor/ITO/In2O3 thermopile/finite element simulation/dynamic response分类
计算机与自动化引用本文复制引用
张梅菊,郭怡雪,黄漫国,杜子睿,康志鹏,张丛春..高温陶瓷薄膜热流传感器动态响应有限元分析[J].测控技术,2023,42(11):1-5,39,6.
