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薄膜体声波谐振器(FBAR)滤波器研究

廖俊杰冯耀刚万蔡辛蔡春华秦明张志强

传感技术学报2023，Vol.36Issue(11)：1669-1680,12.

传感技术学报2023，Vol.36Issue(11)：1669-1680,12.DOI:10.3969/j.issn.1004-1699.2023.11.001

Study on Thin Film Bulk Acoustic Resonator( FBAR) Filter

廖俊杰 ¹冯耀刚 ¹万蔡辛 ²蔡春华 ³秦明 ¹张志强¹

作者信息

MEMS/FBAR滤波器/电路拓扑形式/关键材料/空腔结构方案

MEMS/FBAR filter/circuit topology/key material/cavity structure scheme

信息技术与安全科学

廖俊杰,冯耀刚,万蔡辛,蔡春华,秦明,张志强..薄膜体声波谐振器(FBAR)滤波器研究[J].传感技术学报,2023,36(11):1669-1680,12.

国家自然科学基金项目(61604039) （61604039）

至善青年学者支持计划项目(2242019R40030) （2242019R40030）

OA北大核心CSCDCSTPCD

ISSN：1004-1699

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