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一种凸纹薄膜CMUT阵列的设计与实现

余远昱 王久江 刘鑫 张双

传感技术学报2023，Vol.36Issue(12)：1863-1870,8.
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传感技术学报2023，Vol.36Issue(12)：1863-1870,8.DOI:10.3969/j.issn.1004-1699.2023.12.005

一种凸纹薄膜CMUT阵列的设计与实现

Design and Implementation of An Embossed Membrane CMUT Array

余远昱 1王久江 1刘鑫 2张双3

作者信息

  • 1. 内江师范学院人工智能学院,四川 内江641100
  • 2. 澳门大学模拟与混合信号超大规模集成电路国家重点实验室,中国 澳门999078||澳门大学科技学院电机与电脑工程系,中国 澳门999078
  • 3. 内江师范学院人工智能学院,四川 内江641100||电子科技大学生命科学与技术学院,四川 成都611731
  • 折叠

摘要

关键词

电容式微机械超声换能器/凸纹薄膜CMUT/输出声压/牺牲层释放工艺/塌陷模式CMUT

Key words

capacitive micromachined ultrasonic transducer/embossed membrane CMUT/output pressure/sacrificial layer release process/collapse-mode CMUT

分类

通用工业技术

引用本文复制引用

余远昱,王久江,刘鑫,张双..一种凸纹薄膜CMUT阵列的设计与实现[J].传感技术学报,2023,36(12):1863-1870,8.

基金项目

国家自然科学基金项目(U19A2082) （U19A2082）

四川省科技计划资助项目(2022YFH0110,2022JDRC0134,2021YFSC0040) （2022YFH0110,2022JDRC0134,2021YFSC0040）

中国博士后科学基金面上项目(2020M683294) （2020M683294）

内江师范学院科研团队项目(2021TD02) （2021TD02）

传感技术学报

OA北大核心CSCDCSTPCD

1004-1699

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