电子科技2024，Vol.37Issue(2)：36-45,10.DOI:10.16180/j.cnki.issn1007-7820.2024.02.006
中红外硅基光波导的发展现状
Research Status of Mid-Infrared Silicon-Based Optical Waveguides
摘要
关键词
中红外/硅光子学/无源器件/硅基光波导/绝缘体上硅/锗硅/传播损耗/工作波长Key words
mid-infrared/silicon photonics/passive device/silicon-based optical waveguide/silicon on insulator/germanium silicon/propagation loss/working wavelength分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
冯露露,冯松,胡祥建,陈梦林,刘勇,王迪..中红外硅基光波导的发展现状[J].电子科技,2024,37(2):36-45,10.基金项目
国家重点研发计划(2018YFB2200500) （2018YFB2200500）
国家自然科学基金(61204080) （61204080）
国家重点实验室基金(SKL201804) （SKL201804）
陕西省重点研发计划(2022GY-012,2020KW-011) （2022GY-012,2020KW-011）
西安市科技计划(2020KJRC0026)National Key R&D Program of China(2018YFB2200500) （2020KJRC0026）
National Natural Science Foundation of China(61204080) （61204080）
State Key Laboratory of China(SKL201804) （SKL201804）
Key R&D Project of Shaanxi(2022GY-012,2020KW-011) （2022GY-012,2020KW-011）
Xi'an Science and Technology Planning Project(2020KJRC0026) （2020KJRC0026）
