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SiGe电光调制器研究进展OA

Research Progress of SiGe Electro-Optical Modulator

中文摘要

光子调制器是光纤通信系统中的核心器件,主要对光信号进行调制,实现信号从电域到光域的转换.随着硅基半导体工艺的发展,硅基光子调制器逐渐成为了主流硅光子器件,基于硅工艺技术的GHz带宽调制器的实现也为硅光子学的发展奠定了基础.作为一种用于短距离光互连的高性能光调制器,SiGe光吸收调制器受到了较多关注.文中讨论了高性能SiGe电光调制器的发展现状,对国内外硅基光子调制器的研究进展进行分析,讨论了PIN、PN结等电学调制结构,为研发高速率、低损耗的光子调制器提供了思路.

王迪;冯松;陈梦林;刘勇;胡祥建;冯露露

西安工程大学 理学院,陕西 西安710048

电子信息工程

硅光子学光子器件调制器锗硅PINPN量子阱研究进展

silicon photonicsphotonic devicemodulatorSiGePINPNquantum wellresearch progress

《电子科技》 2024 (002)

锗硅/硅异质结电光调制器的研究

46-54 / 9

国家重点研发计划(2018YFB2200500);国家自然科学基金(61204080);国家重点实验室基金(SKL201804);陕西省重点研发计划(2022GY-012);西安市科技计划(2020KJRC0026)National Key R&D Program of China(2018YFB2200500);National Natural Science Foundation of China(61204080);National Key La-boratory Fund(SKL201804);Shaanxi Provincial Key Research and Development Plan(2022GY-012);Xi'an Science and Technology Plan(2020KJRC0026)

10.16180/j.cnki.issn1007-7820.2024.02.007

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