基于MEMS技术的集成压力-湿度传感器OACSTPCD
Integrated Humidity-Pressure Sensor Based on MEMS Technology
设计了一种高灵敏度的集成压力和湿度传感单元的芯片.压力传感单元基于SOI和蛇形电阻结构.室温下,传感器在载压范围为 3～129 kPa内灵敏度为 0.026 mV/kPa,与有限元仿真基本吻合.传感器在 25～120℃范围内的热灵敏度漂移为 0.004‰FS/℃,热零点漂移为 0.25%FS/℃.湿度传感单元采用的叉指电极和电容式结构,引入含氟PI作湿度敏感膜.设计Mo电阻加热结构加快传感器降湿过程,缩短降湿时间近 32%.在 10%～90%RH…查看全部>>
In this paper,a high-sensitivity integrated humidity and pressure sensor chip is designed.The pressure sensing unit is based on the silicon on insulator(SOI)and serpentine resistors structure.The sensitivity of the sensor at room temperature is 0.026 mV/kPa with the pressure of 3 kPa to 129 kPa,which is consistent with the finite element simulation.The thermal sensitivity shift reaches 0.004‰FS/℃and the thermal zero shift is 0.25% FS/℃.The humidity sensing u…查看全部>>
陈果;刘正波;王韬;张万里
电子科技大学集成电路科学与工程学院,成都 611731||贵州航天智慧农业有限公司,贵阳 550000电子科技大学集成电路科学与工程学院,成都 611731||贵州航天智慧农业有限公司,贵阳 550000电子科技大学集成电路科学与工程学院,成都 611731电子科技大学集成电路科学与工程学院,成都 611731
计算机与自动化
电容式湿度传感器惠斯通电桥MEMS工艺聚酰亚胺(PI)压力传感器
capacitive humidity sensorIDTMEMSpolyimide(PI)pressure sensors
《电子科技大学学报》 2024 (1)
21-28,8
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