光学精密工程2024，Vol.32Issue(1)：1-11,11.DOI:10.37188/OPE.20243201.0001
可见光减反射膜薄层控制误差的分析与性能优化
Thin-layer control error analysis and performance optimization of visible light anti-reflection film
摘要
关键词
光学薄膜/电子束蒸发镀膜/误差控制/机械性能/可见光/反射率Key words
thin film/electron beam evaporation coating/error control/mechanical properties/visible light/reflectance分类
物理学引用本文复制引用
付秀华,魏雨君,林兆文,潘永刚,李刚,付广元..可见光减反射膜薄层控制误差的分析与性能优化[J].光学精密工程,2024,32(1):1-11,11.基金项目
吉林省发改委资助项目(No.2022C045-4) （No.2022C045-4）
2022年度中山市第二批社会公益与基础研究项目(No.2022B2005) （No.2022B2005）
长春市激光制造与检测装备科技创新中心资助项目(No.2014219) （No.2014219）
