可见光减反射膜薄层控制误差的分析与性能优化OACSTPCD
Thin-layer control error analysis and performance optimization of visible light anti-reflection film
为提升光学镜头的成像质量,消除杂散光的影响,以K9玻璃为基底设计可见光波段平均反射率小于0.1％的减反射膜.采用电子束离子辅助沉积的制备方式,针对薄层敏感度高、光谱变化大等问题,通过建立稳定控制膜层厚度的数学模型来减小膜厚误差,提高制备精度和成膜稳定性.对减反射膜进行环测实验,优化调整工艺参数,侧重提高减反射膜的硬度和耐水煮能力.实验结果表明,最终制备出的减反射膜在420～680 nm波段内的平均反射率约为0.044％,最高反射率为0.0712％,克服了以MgF2为外层的减反射膜机械性能和化学稳定性较差的问题,满足工程应用低损耗、稳定可靠、高强度、可重复性制备的要求.
付秀华;魏雨君;林兆文;潘永刚;李刚;付广元
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物理学
光学薄膜电子束蒸发镀膜误差控制机械性能可见光反射率
thin filmelectron beam evaporation coatingerror controlmechanical propertiesvisible lightreflectance
《光学精密工程》 2024 (001)
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吉林省发改委资助项目(No.2022C045-4);2022年度中山市第二批社会公益与基础研究项目(No.2022B2005);长春市激光制造与检测装备科技创新中心资助项目(No.2014219)
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