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基于卷积神经网络判定方法的激光微透镜阵列微米级加工工艺

姚宇超 周锐 严星 王振忠 高娜

光学精密工程2024，Vol.32Issue(1)：43-52,10.
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光学精密工程2024，Vol.32Issue(1)：43-52,10.DOI:10.37188/OPE.20243201.0043

基于卷积神经网络判定方法的激光微透镜阵列微米级加工工艺

Micron-level processing technology of microlens array (MLA) photolithography based on convolutional neural network

姚宇超 1周锐 2严星 1王振忠 3高娜4

作者信息

  • 1. 厦门大学萨本栋微米纳米科学技术研究院,福建厦门 361005
  • 2. 厦门大学萨本栋微米纳米科学技术研究院,福建厦门 361005||福建省能源材料科学与技术创新实验室(IKKEM),福建厦门 361005
  • 3. 厦门大学航空航天学院,福建厦门 361102
  • 4. 厦门大学物理科学与技术学院,福建厦门 361005||厦门大学九江研究院,江西九江 332000
  • 折叠

摘要

关键词

无掩膜光刻/微透镜阵列/曝光合格率/目标检测

Key words

maskless lithogrophy/microlens array/qualification rate/object detection

分类

电子信息工程

引用本文复制引用

姚宇超,周锐,严星,王振忠,高娜..基于卷积神经网络判定方法的激光微透镜阵列微米级加工工艺[J].光学精密工程,2024,32(1):43-52,10.

基金项目

国家自然科学基金资助项目(No.62175203) （No.62175203）

福建省科技计划资助项目(No.2020H0006) （No.2020H0006）

嘉庚创新实验室应用基础研究资助项目(No.RD2020050301) （No.RD2020050301）

光学精密工程

OACSTPCD

1004-924X

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