光学精密工程2024，Vol.32Issue(1)：62-72,11.DOI:10.37188/OPE.20243201.0062
二自由度大行程无耦合压电粘滑定位平台
Two-DOF piezoelectric stick-slip positioning platform with large strokes and no coupling
摘要
关键词
压电驱动/桥式机构/粘滑运动/定位平台Key words
piezoelectric actuation/bridge mechanism/stick-slip motion/positioning platform分类
计算机与自动化引用本文复制引用
吴彤,杨依领,吴高华,崔玉国,魏燕定..二自由度大行程无耦合压电粘滑定位平台[J].光学精密工程,2024,32(1):62-72,11.基金项目
浙江省自然科学基金资助项目(No.LY22E050002) （No.LY22E050002）
宁波市自然科学基金资助项目(No.2022J133) （No.2022J133）
国家自然科学基金资助项目(No.51805276,No.51975517) （No.51805276,No.51975517）
宁波市重大科技攻关项目(No.2022Z062) （No.2022Z062）
