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Al_(2)O_(3)层厚度对PbZrO_(3)/Al_(2)O_(3)异质结薄膜储能性能的影响

王占杰 于海义 邵岩 王子权 白宇

沈阳工业大学学报2024,Vol.46Issue(1):P.72-76,5.
沈阳工业大学学报2024,Vol.46Issue(1):P.72-76,5.DOI:10.7688/j.issn.1000-1646.2024.01.13

Al_(2)O_(3)层厚度对PbZrO_(3)/Al_(2)O_(3)异质结薄膜储能性能的影响

王占杰 1于海义 1邵岩 1王子权 1白宇1

作者信息

  • 1. 沈阳工业大学材料科学与工程学院,辽宁沈阳110870
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摘要

关键词

电介质电容器/PbZrO_(3)薄膜/Al_(2)O_(3)插层/铁电/反铁电/储能性能/热蒸镀/化学溶液沉积法

分类

通用工业技术

引用本文复制引用

王占杰,于海义,邵岩,王子权,白宇..Al_(2)O_(3)层厚度对PbZrO_(3)/Al_(2)O_(3)异质结薄膜储能性能的影响[J].沈阳工业大学学报,2024,46(1):P.72-76,5.

基金项目

国家自然科学基金项目(51902210)。 (51902210)

沈阳工业大学学报

OA北大核心CSTPCD

1000-1646

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