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基于光束偏转法的原子力显微镜探针一致性装配系统研究

张宝良 梁文峰 杨铁 于鹏

光学精密工程2024，Vol.32Issue(2)：P.137-147,11.
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光学精密工程2024，Vol.32Issue(2)：P.137-147,11.DOI:10.37188/OPE.20243202.0137

基于光束偏转法的原子力显微镜探针一致性装配系统研究

张宝良 1梁文峰 2杨铁 3于鹏3

作者信息

  • 1. 沈阳建筑大学机械工程学院,辽宁沈阳110168 中国科学院沈阳自动化研究所机器人学国家重点实验室,辽宁沈阳110016
  • 2. 沈阳建筑大学机械工程学院,辽宁沈阳110168
  • 3. 中国科学院沈阳自动化研究所机器人学国家重点实验室,辽宁沈阳110016 中国科学院机器人与智能制造创新研究院,辽宁沈阳110169
  • 折叠

摘要

关键词

原子力显微镜/探针装配/光束偏转法/微米级位移调节

分类

机械制造

引用本文复制引用

张宝良,梁文峰,杨铁,于鹏..基于光束偏转法的原子力显微镜探针一致性装配系统研究[J].光学精密工程,2024,32(2):P.137-147,11.

基金项目

国家重点研发计划资助项目(No.2021YFB3201600)。 （No.2021YFB3201600）

光学精密工程

OA北大核心CSTPCD

1004-924X

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