人工晶体学报2024，Vol.53Issue(2)：P.210-217,8.
碳化硅同质外延质量影响因素的分析与综述
郭钰 1刘春俊 2张新河 3沈鹏远 2张博 2娄艳芳 2彭同华 2杨建2
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- 1. 北京天科合达半导体股份有限公司,北京102600 深圳市重投天科半导体有限公司,深圳518108
- 2. 北京天科合达半导体股份有限公司,北京102600
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摘要
关键词
碳化硅/同质外延/外延生长/缺陷/位错/小坑分类
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郭钰,刘春俊,张新河,沈鹏远,张博,娄艳芳,彭同华,杨建..碳化硅同质外延质量影响因素的分析与综述[J].人工晶体学报,2024,53(2):P.210-217,8.
