重庆理工大学学报2023，Vol.37Issue(23)：122-129,8.DOI:10.3969/j.issn.1674-8425(z).2023.12.014
一种分时复用的绝对式纳米时栅位移传感器设计
Design of absolute nanometer time grating displacement sensor with time division multiplexing
摘要
关键词
分时复用方法/绝对位移测量/纳米时栅/位移传感器Key words
time division multiplexing method/absolute position measurement/nanometer time grating/displacement sensor分类
机械制造引用本文复制引用
邓志钊,蒲红吉,于治成,王合文,樊星辰..一种分时复用的绝对式纳米时栅位移传感器设计[J].重庆理工大学学报,2023,37(23):122-129,8.基金项目
重庆市教委科学技术研究项目(KJQN202101121) （KJQN202101121）
