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短沟道MOS器件阈电压和跨导的温度关系

孙彦卿 石广元 孙立红

辽宁大学学报（自然科学版）1992，Vol.19Issue(4)：P.34-44,11.
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辽宁大学学报（自然科学版）1992，Vol.19Issue(4)：P.34-44,11.

短沟道MOS器件阈电压和跨导的温度关系

孙彦卿 1石广元 1孙立红2

作者信息

  • 1. 辽宁大学
  • 2. 半导体厂
  • 折叠

摘要

关键词

MOS器件/阈电压/跨导

分类

信息技术与安全科学

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孙彦卿,石广元,孙立红..短沟道MOS器件阈电压和跨导的温度关系[J].辽宁大学学报（自然科学版）,1992,19(4):P.34-44,11.

辽宁大学学报（自然科学版）

1000-5846

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