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薄膜型敏感元件近况简介

张桂成

传感技术学报1991,Vol.4Issue(2):P.63-66,4.
传感技术学报1991,Vol.4Issue(2):P.63-66,4.

薄膜型敏感元件近况简介

张桂成1

作者信息

  • 1. 中科院上海冶金研究所
  • 折叠

摘要

关键词

薄膜材抖/压力敏感元件/温度敏感元件/光敏敏感元件/色敏敏感元件/磁敏敏感元件

分类

通用工业技术

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张桂成..薄膜型敏感元件近况简介[J].传感技术学报,1991,4(2):P.63-66,4.

传感技术学报

1004-1699

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