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直接法键合工艺制造PN结

孙甬 吴隆刚

沈阳工业大学学报1989，Vol.11Issue(4)：P.91-96,6.
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沈阳工业大学学报1989，Vol.11Issue(4)：P.91-96,6.

直接法键合工艺制造PN结

孙甬 1吴隆刚2

作者信息

  • 1. 沈阳工业大学电子工程系
  • 2. 沈阳化工厂
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摘要

关键词

直接法/键合/PN结/制造

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

孙甬,吴隆刚..直接法键合工艺制造PN结[J].沈阳工业大学学报,1989,11(4):P.91-96,6.

沈阳工业大学学报

1000-1646

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