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多层薄膜结构气敏效应研究

谷丰 张耀华 李民强

传感技术学报1991，Vol.4Issue(2)：P.1-7,7.
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传感技术学报1991，Vol.4Issue(2)：P.1-7,7.

多层薄膜结构气敏效应研究

谷丰 1张耀华 1李民强1

作者信息

  • 1. 中国科学院合肥智能机械研究所
  • 折叠

摘要

关键词

多层薄膜结构/气敏效应/二氧化锡/氢传感器

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

谷丰,张耀华,李民强..多层薄膜结构气敏效应研究[J].传感技术学报,1991,4(2):P.1-7,7.

基金项目

国家自然科学基金资助项目 （）

传感技术学报

1004-1699

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