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多晶硅薄膜的结构与电学特性关系的研究

闫卫平 马灵芝 牛德芳

传感技术学报1995，Vol.8Issue(1)：P.12-16,5.
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传感技术学报1995，Vol.8Issue(1)：P.12-16,5.

多晶硅薄膜的结构与电学特性关系的研究

闫卫平 1马灵芝 1牛德芳1

作者信息

  • 1. 大连理工大学电子工程系,大连116024
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摘要

关键词

多晶硅薄膜/薄膜结构/电学特性

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

闫卫平,马灵芝,牛德芳..多晶硅薄膜的结构与电学特性关系的研究[J].传感技术学报,1995,8(1):P.12-16,5.

基金项目

国家自然科学基金资助项目 （）

传感技术学报

OACSCD

1004-1699

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