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外延气氛对SIMOX结构损伤的RBS分析

李金华 林成鲁 Hemment P L F

厦门大学学报（自然科学版）Issue(S2)：P.64-66,3.
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厦门大学学报（自然科学版）Issue(S2)：P.64-66,3.

外延气氛对SIMOX结构损伤的RBS分析

李金华 1林成鲁 2Hemment P L F3

作者信息

  • 1. 江苏石油化工学院物理教研究,常州213016
  • 2. 中科院上海冶金研究所离子束开放实验室,上海200050
  • 3. Dept,of EEE,University of Surrey,Guildford,Surrey Gu_2 5xH,England
  • 折叠

摘要

关键词

SOI材料/外延/RBS分析

分类

自科综合

引用本文复制引用

李金华,林成鲁,Hemment P L F..外延气氛对SIMOX结构损伤的RBS分析[J].厦门大学学报（自然科学版）,1993,(S2):P.64-66,3.

厦门大学学报（自然科学版）

OA北大核心CSCD

0438-0479

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