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传感技术学报
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与硅微电子技术相兼容的传感器和执行器微细加工技术
与硅微电子技术相兼容的传感器和执行器微细加工技术
于梅芳
传感技术学报
1995，Vol.8
Issue(1)：P.45-51,7.
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传感技术学报
1995，Vol.8
Issue(1)
：P.45-51,7.
与硅微电子技术相兼容的传感器和执行器微细加工技术
于梅芳
1
作者信息
1.
南京邮电学院,南京210003
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摘要
关键词
传感器
/
执行器
/
微细加工
/
硅
/
微电子技术
分类
信息技术与安全科学
引用本文
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于梅芳..与硅微电子技术相兼容的传感器和执行器微细加工技术[J].传感技术学报,1995,8(1):P.45-51,7.
传感技术学报
OA
CSCD
ISSN：
1004-1699
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