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多片式衬底HFCVD系统沉积金刚石颗粒物理场的仿真优化

杨海霞 伏明将 罗健 张韬

金刚石与磨料磨具工程2023，Vol.43Issue(6)：P.735-742,8.
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金刚石与磨料磨具工程2023，Vol.43Issue(6)：P.735-742,8.DOI:10.13394/j.cnki.jgszz.2023.0031

多片式衬底HFCVD系统沉积金刚石颗粒物理场的仿真优化

杨海霞 1伏明将 2罗健 3张韬1

作者信息

  • 1. 无锡职业技术学院,江苏无锡214121
  • 2. 江苏科技大学,江苏镇江212100
  • 3. 江苏海洋大学,江苏连云港222005
  • 折叠

摘要

关键词

热丝化学气相沉积法/FLUENT仿真软件/优化模型/金刚石颗粒均匀生长

分类

化学化工

引用本文复制引用

杨海霞,伏明将,罗健,张韬..多片式衬底HFCVD系统沉积金刚石颗粒物理场的仿真优化[J].金刚石与磨料磨具工程,2023,43(6):P.735-742,8.

基金项目

国家青年自然科学基金(51605280) （51605280）

江苏省自然科学基金(BK20201142)。 （BK20201142）

金刚石与磨料磨具工程

OA北大核心CSTPCD

1006-852X

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