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以Cr/CrSiN膜为过渡层在高钴硬质合金表面沉积金刚石薄膜

潘秋丽 张荣良

金刚石与磨料磨具工程2023,Vol.43Issue(6):P.698-703,6.
金刚石与磨料磨具工程2023,Vol.43Issue(6):P.698-703,6.DOI:10.13394/j.cnki.jgszz.2023.0004

以Cr/CrSiN膜为过渡层在高钴硬质合金表面沉积金刚石薄膜

潘秋丽 1张荣良1

作者信息

  • 1. 浙江百川导体技术股份有限公司,浙江浦江322200
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摘要

关键词

金刚石薄膜/硬质合金/结合力/应力

分类

化学化工

引用本文复制引用

潘秋丽,张荣良..以Cr/CrSiN膜为过渡层在高钴硬质合金表面沉积金刚石薄膜[J].金刚石与磨料磨具工程,2023,43(6):P.698-703,6.

基金项目

浙江省重点研发资助项目(2021C01083)。 (2021C01083)

金刚石与磨料磨具工程

OA北大核心CSTPCD

1006-852X

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