基于卡尔曼滤波的激光外差干涉位移测量误差补偿OA北大核心CSTPCD
针对激光外差干涉仪测量过程中测量镜随被测对象旋转而导致的位移测量误差,提出了一种基于卡尔曼滤波的激光外差干涉位移测量补偿方法。根据测量镜转角和测量光束光斑位置变化对应关系,利用位置敏感探测器(PSD)和位置电压信号卡尔曼滤波方法测得降噪后的光斑位置变化,从而获得更为准确的转角测量结果,最后根据转角与位移的解耦数学模型利用测得的转角进行位移补偿。为验证滤波算法和位移补偿方法的可行性和有效性,搭建激光外差干涉测量实验装置,分别进行光斑位置稳定性测量实…查看全部>>
周志鹏;楼盈天;王升帆;陈宇;陈本永
浙江理工大学信息科学与工程学院,浙江杭州310018浙江理工大学信息科学与工程学院,浙江杭州310018浙江理工大学信息科学与工程学院,浙江杭州310018浙江理工大学信息科学与工程学院,浙江杭州310018浙江理工大学信息科学与工程学院,浙江杭州310018
机械工程
激光外差干涉位移测量误差补偿卡尔曼滤波
《光学精密工程》 2024 (3)
P.357-365,9
国家自然科学基金资助项目(No.52005449)浙江理工大学科研业务费专项资金资助(No.23222133-Y)。
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