光学精密工程2024，Vol.32Issue(3)：P.357-365,9.DOI:10.37188/OPE.20243203.0357
基于卡尔曼滤波的激光外差干涉位移测量误差补偿
摘要
关键词
激光外差干涉/位移测量/误差补偿/卡尔曼滤波分类
机械制造引用本文复制引用
周志鹏,楼盈天,王升帆,陈宇,陈本永..基于卡尔曼滤波的激光外差干涉位移测量误差补偿[J].光学精密工程,2024,32(3):P.357-365,9.基金项目
国家自然科学基金资助项目(No.52005449) （No.52005449）
浙江理工大学科研业务费专项资金资助(No.23222133-Y)。 （No.23222133-Y）
