全口径环形抛光的光学元件面形误差影响因素及其控制OA北大核心CSTPCD
全口径环形抛光是加工大口径平面光学元件的关键技术之一,其瓶颈问题是元件面形的高效高精度控制。通过研究元件面形的影响因素及其控制方法从而提升其确定性控制水平。围绕影响面形误差的运动速度、抛光盘表面形状误差和钝化状态等关键工艺因素,建立基于运动轨迹有效弧长的环形抛光运动学模型,揭示了抛光盘表面开槽槽型对面形误差的影响规律;提出了采用位移传感器以螺旋路径扫描抛光盘表面并通过插值算法生成其形状误差的方法,建立基于小工具的子口径修正方法,实现了抛光盘形状误…查看全部>>
廖德锋;张明壮;谢瑞清;赵世杰;许乔
中国工程物理研究院激光聚变研究中心,四川绵阳621900中国工程物理研究院激光聚变研究中心,四川绵阳621900中国工程物理研究院激光聚变研究中心,四川绵阳621900中国工程物理研究院激光聚变研究中心,四川绵阳621900中国工程物理研究院激光聚变研究中心,四川绵阳621900
机械工程
光学加工全口径环形抛光面形误差影响规律控制方法
《光学精密工程》 2024 (3)
P.333-343,11
国家自然科学基金面上项目(No.52075507)。
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