光学精密工程2024，Vol.32Issue(3)：P.333-343,11.DOI:10.37188/OPE.20243203.0333
全口径环形抛光的光学元件面形误差影响因素及其控制
摘要
关键词
光学加工/全口径环形抛光/面形误差/影响规律/控制方法分类
机械制造引用本文复制引用
廖德锋,张明壮,谢瑞清,赵世杰,许乔..全口径环形抛光的光学元件面形误差影响因素及其控制[J].光学精密工程,2024,32(3):P.333-343,11.基金项目
国家自然科学基金面上项目(No.52075507)。 （No.52075507）
