机电工程技术2024，Vol.53Issue(1)：P.295-299,5.DOI:10.3969/j.issn.1009-9492.2024.01.066
基于PLC的原子层沉积设备系统设计
汤晨宇 1刘磊 1曾广根 2王志亮 3张洪国1
作者信息
- 1. 江苏鹏举半导体设备技术有限公司,江苏南通226000
- 2. 四川大学材料学与工程学院,成都610065
- 3. 南通大学信息科学技术学院,江苏南通226000
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摘要
关键词
原子层沉积/PLC/HMI/控制系统分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
汤晨宇,刘磊,曾广根,王志亮,张洪国..基于PLC的原子层沉积设备系统设计[J].机电工程技术,2024,53(1):P.295-299,5.
