面向曲面应变监测的SAW应变传感单元的设计OA
高端装备的内部性能参数,如应变等的实时监测,对评估装备在各状态、各阶段的性能变化尤为重要。基于高端装备的应变无源无线监测需求,根据待测表面的曲面特性,设计了面向曲面应变传感的SAW传感芯片,并通过有限元方法对设计参数进行了仿真分析和优化设计,采用特殊结构设计以增加曲面应变监测效果及提升应变芯片灵敏度。采用MEMS加工方法制作了应变芯片样品,并使用矢量网络分析仪测量了芯片的工作频率。测试结果表明,所设计的应变传感芯片中心频率与仿真结果接近。最后搭建…查看全部>>
陈睿;张勇斌;肖鸿洋;王君杨;徐静宁
中国工程物理研究院机械制造工艺研究所,四川绵阳621000中国工程物理研究院机械制造工艺研究所,四川绵阳621000中国工程物理研究院机械制造工艺研究所,四川绵阳621000中国工程物理研究院机械制造工艺研究所,四川绵阳621000中国工程物理研究院机械制造工艺研究所,四川绵阳621000
计算机与自动化
声表面波应变传感曲面应变MEMS技术谐振频率
《机电工程技术》 2024 (1)
P.91-94,4
中物院发展项目专题资助(K1357)。
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