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氧化铪基铁电薄膜相结构调控的研究进展

李彦 郭媛媛 梁海龙 张建婷 王兴刚 刘书棋 辛宁

工程科学学报2024，Vol.46Issue(4)：P.649-656,8.
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工程科学学报2024，Vol.46Issue(4)：P.649-656,8.DOI:10.13374/j.issn2095-9389.2023.05.10.003

氧化铪基铁电薄膜相结构调控的研究进展

李彦 1郭媛媛 2梁海龙 3张建婷 4王兴刚 4刘书棋 4辛宁4

作者信息

  • 1. 辽宁科技大学材料与冶金学院,鞍山114051 中国航空制造技术研究院,北京100024
  • 2. 辽宁科技大学材料与冶金学院,鞍山114051 安徽工业大学先进金属材料绿色制备与表面技术教育部重点实验室,马鞍山243002
  • 3. 中国航空制造技术研究院,北京100024
  • 4. 辽宁科技大学材料与冶金学院,鞍山114051
  • 折叠

摘要

关键词

氧化铪/铁电薄膜/相调控/氧空位/膜厚

分类

通用工业技术

引用本文复制引用

李彦,郭媛媛,梁海龙,张建婷,王兴刚,刘书棋,辛宁..氧化铪基铁电薄膜相结构调控的研究进展[J].工程科学学报,2024,46(4):P.649-656,8.

基金项目

辽宁省教育厅优秀人才项目(2020LNQN09) （2020LNQN09）

安工大先进金属材料绿色制备与表面技术教育部重点实验开放基金资助项目(GFST2021KF02)。 （GFST2021KF02）

工程科学学报

OA北大核心CSTPCD

2095-9389

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