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带有射频偏压源的感性耦合Ar/O_(2)/Cl_(2)等离子体放电的混合模拟研究

佟磊 赵明亮 张钰如 宋远红 王友年

物理学报2024，Vol.73Issue(4)：P.209-223,15.
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物理学报2024，Vol.73Issue(4)：P.209-223,15.DOI:10.7498/aps.73.20231369

带有射频偏压源的感性耦合Ar/O_(2)/Cl_(2)等离子体放电的混合模拟研究

佟磊 1赵明亮 1张钰如 1宋远红 1王友年1

作者信息

  • 1. 大连理工大学物理学院,三束材料改性教育部重点实验室,大连116024
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摘要

关键词

感性耦合等离子体/偏压源/混合模型/离子能量/离子通量

分类

数理科学

引用本文复制引用

佟磊,赵明亮,张钰如,宋远红,王友年..带有射频偏压源的感性耦合Ar/O_(2)/Cl_(2)等离子体放电的混合模拟研究[J].物理学报,2024,73(4):P.209-223,15.

基金项目

国家自然科学基金(批准号:12275041,11935005,12020101005)资助的课题. （批准号:12275041,11935005,12020101005）

物理学报

OA北大核心CSTPCD

1000-3290

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