液压与气动2024，Vol.48Issue(2)：P.18-24,7.DOI:10.11832/j.issn.1000-4858.2024.02.003
感光干膜微结构模具制备关键技术
摘要
关键词
感光干膜/微结构模具/光谱特性/压膜/曝光/显影分类
机械制造引用本文复制引用
刘旭玲,刘威,左文思,叶国勇,金少搏,李松晶..感光干膜微结构模具制备关键技术[J].液压与气动,2024,48(2):P.18-24,7.基金项目
国家自然科学基金(52005453) （52005453）
河南省科技攻关项目基金(232102320056) （232102320056）
河南省交通运输厅科技项目基金(2020J1,2020J2)。 （2020J1,2020J2）
