化工学报2024，Vol.75Issue(1)：P.1-19,19.DOI:10.11949/0438-1157.20230655
电子级磷酸的纯化精制技术发展现状与研究进展
摘要
关键词
电子级磷酸/电子材料/纯化/结晶/技术集成/痕量杂质分类
化学化工引用本文复制引用
余留洋,刘书博,贾晟哲,马航,万邦隆,苏琦雯,王静康,汤伟伟,贺豫娟,龚俊波..电子级磷酸的纯化精制技术发展现状与研究进展[J].化工学报,2024,75(1):P.1-19,19.基金项目
国家自然科学基金面上项目(22278300) （22278300）
国家自然科学基金重点项目(21938009)。 （21938009）
