化工学报2024，Vol.75Issue(1)：P.110-119,10.DOI:10.11949/0438-1157.20230669
超临界二氧化碳介质中晶圆清洗与选择性刻蚀研究进展
张泽欣 1郑伟中 1徐益升 1胡冬冬 1卓欣宇 1宗原 1孙伟振 1赵玲1
作者信息
- 1. 华东理工大学化学工程联合国家重点实验室,上海200237
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摘要
关键词
晶圆清洗/晶圆刻蚀/超临界二氧化碳/超临界流体/微乳液分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
张泽欣,郑伟中,徐益升,胡冬冬,卓欣宇,宗原,孙伟振,赵玲..超临界二氧化碳介质中晶圆清洗与选择性刻蚀研究进展[J].化工学报,2024,75(1):P.110-119,10.
