飞控与探测2023，Vol.6Issue(6)：P.88-94,7.
熔融石英半球谐振子亚表面缺陷的湿法刻蚀工艺
苏定宁 1于鑫海 1刘奎 1段杰 1赵思涵 1李绍良 1赵万良1
作者信息
- 1. 上海航天控制技术研究所,上海201109 上海惯性工程技术研究中心,上海201109
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摘要
关键词
半球谐振子/品质因数/熔融石英/湿法刻蚀/频率裂解分类
机械制造引用本文复制引用
苏定宁,于鑫海,刘奎,段杰,赵思涵,李绍良,赵万良..熔融石英半球谐振子亚表面缺陷的湿法刻蚀工艺[J].飞控与探测,2023,6(6):P.88-94,7.
