飞控与探测2023，Vol.6Issue(5)：P.29-38,10.
MEMS谐振器的常用闭环驱动控制方法对比分析
摘要
关键词
自激振荡/闭环驱动/谐振器/PI控制/仿真分析分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
李志,张晶,周严,杨欣雨..MEMS谐振器的常用闭环驱动控制方法对比分析[J].飞控与探测,2023,6(5):P.29-38,10.基金项目
国家重点研发计划(2021YFB3201600) （2021YFB3201600）
国家自然科学基金(62101263)。 （62101263）
