星载迈克尔逊干涉仪扫描角镜装调工艺研究OA北大核心CSTPCD

针对星载迈克尔逊干涉仪悬臂式扫描角镜组件装调维度多、装调精度高、检测困难等技术难点,提出了一种“向量解析+精密微动调整”方法,通过建立装调及检测基准、将角镜组件简化为空间点向量、采用“先法向后平面”的调整顺序、利用专用精密微动装置等措施,实现了空间多自由度角镜组件的高精度调整,角镜顶点位置对称度装调后达到8μm,优于0.01 mm的设计指标要求,有效提高了装调精度,缩短了装调周期。