金刚石与磨料磨具工程2024，Vol.44Issue(1)：P.109-122,14.DOI:10.13394/j.cnki.jgszz.2023.0053
磨粒振动对碳化硅CMP的微观结构演变和材料去除的影响
唐爱玲 1苑泽伟 1唐美玲 1王颖1
作者信息
- 1. 沈阳工业大学机械工程学院,沈阳110870
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摘要
关键词
碳化硅/振动/化学机械抛光/分子动力学分类
矿业与冶金引用本文复制引用
唐爱玲,苑泽伟,唐美玲,王颖..磨粒振动对碳化硅CMP的微观结构演变和材料去除的影响[J].金刚石与磨料磨具工程,2024,44(1):P.109-122,14.
