金刚石与磨料磨具工程2024，Vol.44Issue(1)：P.15-21,7.DOI:10.13394/j.cnki.jgszz.2023.0069
C-H-F氛围下金刚石薄膜的低温CVD生长过程分析
摘要
关键词
CVD金刚石薄膜/氟/沉积机制/第一性原理/吸附/表面化学反应分类
化学化工引用本文复制引用
简小刚,梁晓伟,姚文山,张毅,张斌华,陈哲,陈茂林..C-H-F氛围下金刚石薄膜的低温CVD生长过程分析[J].金刚石与磨料磨具工程,2024,44(1):P.15-21,7.基金项目
国家自然科学基金(51275358)。 （51275358）
