热振子式Z轴MEMS角速度陀螺敏感机理的研究OA北大核心CSTPCD
Study on the Sensitivity Mechanism of Thermal Oscillator Type Z-Axis MEMS Angular Velocity Gyro
揭示了一种热振子式Z轴MEMS角速度陀螺的敏感机理.在给出工作原理、热振子的振动模态和陀螺效应的基础上,对敏感结构内的温度场进行了计算.结果表明:①开机1.8 s后在敏感结构内形成一个稳定的温度场.②热振子在Y方向建立驱动模态,当沿着Z轴输入角速度时,在哥氏力的作用下热振子沿着X方向移动,造成温度场偏移,X方向上对称平行设置的两热线温差ΔTX随着输入加速度az的加大呈现线性增长,温度灵敏度为125 mK/(°/s).③根据输入-输出ωz-VXou…查看全部>>
The sensitive mechanism of a thermal oscillator type Z-axis MEMS angular velocity gyro is revealed.The temperature field in-side the sensitive structure is calculated on the basis of giving the operating principle,the vibration mode of the thermal oscillator and the gyroscopic effect.The results show that:a stable temperature field is formed inside the sensitive structure after 1.8 s of power-on.The thermal oscillator establishes a driving mode in the Y dire…查看全部>>
朴林华;佟嘉程;李备;张严
北京信息科技大学,北京市传感器重点实验室,北京 100101北京信息科技大学,北京市传感器重点实验室,北京 100101北京信息科技大学,北京市传感器重点实验室,北京 100101北京信息科技大学,北京市传感器重点实验室,北京 100101
计算机与自动化
陀螺敏感机理陀螺效应数学模型微机械热振子
gyroscopicsensitive mechanismgyroscopic effectmathematical modelmicromechanicsthermal oscillator
《传感技术学报》 2024 (2)
189-194,6
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