首页|期刊导航|厦门大学学报(自然科学版)|基于非均匀分布微结构的柔性压力传感器性能调控

基于非均匀分布微结构的柔性压力传感器性能调控OA北大核心CSTPCD

中文摘要

[目的]为了适应柔性压力传感器面向特定应用的定制化设计需求,提出一种基于非均匀分布微结构的电容式柔性压力传感器,开展传感器性能调控研究.[方法]首先,基于敏感层微结构非均匀分布方式,提出一种灵敏度预测模型,并通过与实际测试结果的对比分析,验证模型的正确性.其次,研究当介电层微结构为微圆台时,不同微圆台顶面半径、高度、底面半径等几何参数以及次级微结构对传感器灵敏度和线性范围的影响.最后,基于该调控方法制备了综合性能良好的多级非均匀微结构分布的柔性压…查看全部>>

颜黄苹;李远哲;王子俊;周锐;尹靖博

厦门大学萨本栋微米纳米科学技术研究院,福建厦门361005厦门大学萨本栋微米纳米科学技术研究院,福建厦门361005厦门大学萨本栋微米纳米科学技术研究院,福建厦门361005厦门大学萨本栋微米纳米科学技术研究院,福建厦门361005厦门大学萨本栋微米纳米科学技术研究院,福建厦门361005

水产学

柔性压力传感器非均匀分布微结构性能调控

《厦门大学学报(自然科学版)》 2024 (2)

P.241-251,11

广东省基础与应用基础研究基金资助项目(2020A1515010519)装备预研重点实验室基金项目(6142207200606)。

10.6043/j.issn.0438-0479.202208028

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