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磁控溅射制备LiNi_(0.8)Co_(0.1)Mn_(0.1)O_(2)薄膜工艺研究

李镰池 吴爱民 宋欣忆 刘延领 王亚楠 黄昊

表面技术2024，Vol.53Issue(6)：P.190-197,8.
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表面技术2024，Vol.53Issue(6)：P.190-197,8.DOI:10.16490/j.cnki.issn.1001-3660.2024.06.017

磁控溅射制备LiNi_(0.8)Co_(0.1)Mn_(0.1)O_(2)薄膜工艺研究

李镰池 1吴爱民 1宋欣忆 1刘延领 1王亚楠 1黄昊1

作者信息

  • 1. 大连理工大学材料科学与工程学院辽宁省能源材料及器件重点试验室,辽宁大连116024
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摘要

关键词

固态薄膜电池/NCM正极薄膜/正交试验/磁控溅射/电化学性能

分类

矿业与冶金

引用本文复制引用

李镰池,吴爱民,宋欣忆,刘延领,王亚楠,黄昊..磁控溅射制备LiNi_(0.8)Co_(0.1)Mn_(0.1)O_(2)薄膜工艺研究[J].表面技术,2024,53(6):P.190-197,8.

基金项目

中央高校基础研究基金项目(DUT20LAB123,DUT20LAB307)。 （DUT20LAB123,DUT20LAB307）

表面技术

OA北大核心CSTPCD

1001-3660

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