表面技术2024，Vol.53Issue(6)：P.157-167,11.DOI:10.16490/j.cnki.issn.1001-3660.2024.06.014
紫外光催化辅助Ga面GaN化学机械抛光试验研究
摘要
关键词
氮化镓/紫外光催化/抛光/MRR/表面粗糙度/单因素试验/正交试验分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
杨友明,周海,胡士响,夏丽琴,任相璞..紫外光催化辅助Ga面GaN化学机械抛光试验研究[J].表面技术,2024,53(6):P.157-167,11.基金项目
国家自然科学基金面上项目(51675457) （51675457）
盐城工学院研究生实践创新计划(SJCX22_XZ013)。 （SJCX22_XZ013）
