控制理论与应用2024，Vol.41Issue(2)：P.303-310,8.DOI:10.7641/CTA.2023.11198
腔室清洗的单臂组合设备初始暂态调度
摘要
关键词
组合设备/腔室清洗/初始暂态/晶圆制造分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
郭文有,潘春荣..腔室清洗的单臂组合设备初始暂态调度[J].控制理论与应用,2024,41(2):P.303-310,8.基金项目
国家自然科学基金项目(72161019) （72161019）
江西省高等学校井冈学者特聘教授岗位资助. （）
