热管理用3英寸硅衬底金刚石薄膜的制备OA北大核心CSTPCD
Preparation of 3-inch Diamond Film on Silicon Substrate for Thermal Management
金刚石膜材料用作GaN电子器件散热器具有巨大潜力,低应力、大尺寸、高质量、原子级光滑表面的金刚石膜层是GaN器件的整体传热能力提升的关键.本研究提出了一种用于 3 英寸(1 英寸=2.54 cm)硅衬底多晶金刚石薄膜的生长和晶圆级抛光技术,用以实现大尺寸金刚石膜材料在散热器方向上的应用.首先对微波谐振腔内的等离子体进行多物理场自洽建模,通过仿真模拟技术分析 2.45 GHz 多模椭球谐振腔微波等离子体化学气相沉积(Microwave plasma…查看全部>>
The diamond film material holds great potential as a heat sink for GaN electronic devices.The diamond film layer with low stress,large dimensions,high quality,and an atomically smooth surface is crucial for enhancing the overall heat transfer capacity of GaN devices.This study presents a technique for growing and polishing polycrystalline diamond films on 3-inch(1 inch=2.54 cm)silicon substrates to facilitate the use of large-sized diamond film materials in …查看全部>>
杨志亮;杨鏊;刘鹏;陈良贤;安康;魏俊俊;刘金龙;吴立枢;李成明
北京科技大学 新材料技术研究院,北京 100083北京科技大学 新材料技术研究院,北京 100083北京科技大学 新材料技术研究院,北京 100083北京科技大学 新材料技术研究院,北京 100083北方工业大学 机械与材料工程学院,北京 100144北京科技大学 新材料技术研究院,北京 100083北京科技大学 新材料技术研究院,北京 100083中国电子科技集团公司第五十五研究所,固态微波器件与电路全国重点实验室,南京 210016北京科技大学 新材料技术研究院,北京 100083
物理学
金刚石薄膜MPCVD晶圆级抛光
diamond filmMPCVDwafer level polishing
《无机材料学报》 2024 (3)
超强金刚石厚膜介观孪晶异常生长与力学增强机制
283-290,8
固态微波器件与电路全国重点实验室基金国家自然科学基金(52172037,52102034)北方工业大学有组织科研(2023YZZKY12)The Fund of National Key Laboratory of Solid-State Microwave Devices and CircuitsNational Natural Science Foundation of China(52172037,52102034)Organized Research Fund of North China University of Technology(2023YZZKY12)
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