框架结构对薄膜体声波谐振器性能提升的研究OA北大核心CSTPCD
The Performance Improvement of Thin Film Bulk Acoustic Resonators by Frame Structure
本文研究了框架结构(Frame)对薄膜体声波谐振器(Film Bulk Acoustic Resonator,FBAR)提升性能的作用,从两种Frame结构对体声波能量的反射匹配基础理论出发,针对其功能特点,以实验的方式确定了低频和高频多组框架微结构的组合,对多组FBAR进行了版图绘制以及光刻流片,最终通过片上测试得到了所有分组的谐振器性能.对测试得到的性能进行了分组统计筛选,从测试结果来看,经过优选之后的Frame结构分组无论是对低频还是高频F…查看全部>>
The effect of frame on the performance improvement of thin film bulk acoustic resonator(FBAR)is stud-ied.Based on the basic theory of reflection and matching of two kinds of frame structures to keep acoustic energy,accord-ing to their functional characteristics,several groups of frame microstructure combinations of low frequency and high fre-quency are determined experimentally,and the two groups of FBAR are taped out.Finally,the resonator of all groups is o…查看全部>>
吴永乐;吴昊鹏;赖志国;蔡洵;唐滨;杨清华;杨雨豪;王卫民
北京邮电大学集成电路学院,北京 100876北京邮电大学电子工程学院,北京 100876苏州汉天下电子有限公司,江苏苏州 215000苏州汉天下电子有限公司,江苏苏州 215000苏州汉天下电子有限公司,江苏苏州 215000北京邮电大学电子工程学院,北京 100876||苏州汉天下电子有限公司,江苏苏州 215000北京邮电大学集成电路学院,北京 100876北京邮电大学电子工程学院,北京 100876
电子信息工程
薄膜体声波谐振器框架结构流片实验阻抗相位波动
film bulk acoustic resonatorframe structuretaping out experimentimpedance phase fluctuation
《电子学报》 2024 (2)
频域可配置滤波功能融合高效率功率放大器基础理论与关键技术研究
407-413,7
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