2～10 μm台阶高度标准物质候选物的研制和质量评价OACSTPCD
Fabrication and Quality Evaluation of 2～10 μm Step Height Reference Material Candidates
微米台阶高度标准物质用于校准仪器z轴性能,传递准确的微米高度量值.利用光刻结合干法刻蚀工艺实现公称高度为2,5,10μm台阶高度标准物质候选物的制备,并对台阶高度、粗糙度和上下表面平行度进行表征.使用激光共聚焦显微镜和非球面测量仪进行测量,基于双边算法、直方图法、ISO算法和光学显微解耦合准则(LEL)法对台阶高度进行评定,对于同一标准物质候选物各评定方法间的标准差均不超过0.024 μm,台阶高度评定值的相对偏差均在5％以内,表明不同算法的评定…查看全部>>
The micrometer step height reference materials can used to calibrate the z-axis performance of the instrument and transmit accurate micrometer height values.The step height reference material candidates with 2,5,10 μm nominal size are prepared by photolithography combined with dry etching.The height,roughness,and parallelism of the steps are characterized.Using a laser confocal microscope and an aspheric measuring instrument for measurement,the step he…查看全部>>
柳迪;王琛英;张雅馨;王云祥;王松;陈伦涛;王永录;朱楠;蒋庄德
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微米计量台阶高度标准物质干法刻蚀粗糙度平行度
micron metrologystep height reference materialdry etchingroughnessparallelism
《计量学报》 2024 (3)
金属板材蛇形/差温轧制复合接触行为与温控—形变耦合机理研究
305-310,6
国家自然科学基金(52175354)
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