一种新的大行程垂直纳米运动工作台设计与控制研究OACSTPCD
Design and Control of a New Long-Stroke Vertical Nano-Motion Stage
在大行程高精度垂直运动中,工作台的设计及稳定控制是关键因素.因此设计一种新型的具有平衡机构的工作台,以实现垂直方向上大行程纳米稳定运动.所研究工作台采用N331压电直线电机独立驱动,通过空气静态导轨悬浮,设计Z轴平衡系统降低垂直向电机驱动负载.利用步进控制方式完成大行程驱动,模拟方式实现微位移精密驱动控制.所提出的驱动与控制策略,可实现100 mm垂直方向上高精度快速精密驱动.另Z向也可实现纳米步进模式与模拟模式的复合控制.在全行程100 mm的…查看全部>>
The design and stable control of the stage are key factors in large stroke high-precision vertical motion.Therefore,a novel motion stage with a balancing mechanism is proposed to achieve large stroke nano stable motion in the vertical direction.The characteristics of the stage are that the N331 piezoelectric linear motor is independently driven,suspended through the air static guide rail,and the Z-axis balance system is designed to reduce the motor driving l…查看全部>>
张帆;黄强先;程荣俊;张连生;李红莉;李瑞君
合肥工业大学仪器科学与光电工程学院测量理论与精密仪器安徽省重点实验室,安徽合肥 230009合肥工业大学仪器科学与光电工程学院测量理论与精密仪器安徽省重点实验室,安徽合肥 230009合肥工业大学仪器科学与光电工程学院测量理论与精密仪器安徽省重点实验室,安徽合肥 230009合肥工业大学仪器科学与光电工程学院测量理论与精密仪器安徽省重点实验室,安徽合肥 230009合肥工业大学仪器科学与光电工程学院测量理论与精密仪器安徽省重点实验室,安徽合肥 230009合肥工业大学仪器科学与光电工程学院测量理论与精密仪器安徽省重点实验室,安徽合肥 230009
几何量计量纳米运动工作台垂直运动大行程纳米步进模拟模式
geometric metrologynano-motion stagevertical motionlarge strokenanosteppinganalog mode
《计量学报》 2024 (3)
非接触光学三维纳米测头测量机理及应用研究
318-324,7
国家重点研发计划(2019YFB2004901)国家自然科学基金(51875163)
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