AFM-TM微悬臂梁系统混沌运动及控制算法分析OACSTPCD
Chaotic Motion and Control Algorithm Analysis of AFM-TM Microcantilever System
针对轻敲式原子力显微镜微(AFM-TM)悬臂梁系统的混沌运动会严重影响到AFM-TM的测量精度的问题,对该系统动力学特性及控制算法进行了分析.首先,通过数值仿真,综合利用Lyapunov指数、分岔图、Poincaré截面和相位图分析了外部激励幅值变化时AFM-TM微悬臂梁系统运动特性的演化;然后,提出将延时反馈控制和模糊自适应延时反馈,用于控制系统的混沌运动;最后,对两种控制算法进行了比较.研究结果表明,当无量纲外部激励幅值在[0.65,0.85…查看全部>>
To address the issue of measurement accuracy in atomic force microscope in tapping mode(AFM-TM)caused by the chaotic motion of the AFM-TM cantilever beam system,this study focused on analyzing the dynamic characteristics and control algorithm of the system.Through numerical simulation,the Lyapunov index,bifurcation diagram,Poincaré cross section,and phase diagram were used to analyze the evolution of the motion characteristics of AFM-TM microcantilever beam …查看全部>>
宋佩颉;褚衍东;张航;俞睿
兰州交通大学机电工程学院,甘肃兰州 730070||甘肃省计量研究院长度计量研究所,甘肃兰州 730050兰州交通大学机电工程学院,甘肃兰州 730070甘肃省计量研究院长度计量研究所,甘肃兰州 730050甘肃省计量研究院长度计量研究所,甘肃兰州 730050
几何量计量轻敲式原子力显微镜微悬臂梁混沌运动延时反馈控制模糊控制
geometric metrologyAFM-TMmicrocantileverchaotic motiontime-delayed feedback controlfuzzy control
《计量学报》 2024 (3)
356-363,8
西藏自治区科技计划(XZ202301YD0004C)甘肃省青年科技基金(21JR7RA316)中国计量科学研究院科研项目(AKYZD2307)甘肃省计量研究院科研项目(GJY2023003)
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