基于金属电化学腐蚀的单晶SiC表面腐蚀和磨损性能研究OA北大核心CSTPCD
Study on Surface Corrosion and Wear Performance of Single-crystal SiC Based on Metal Electrochemical Corrosion
针对化学机械抛光中抛光液的环境污染,提出一种基于金属电化学腐蚀的单晶SiC化学机械抛光方法.通过腐蚀实验和摩擦磨损实验,研究了电化学腐蚀单晶SiC的Si面腐蚀性能和磨损性能.通过对比Al、Cu、Fe金属在Na2SO4电解质溶液中对Si面的腐蚀性能,发现Al在Si面产生明显的腐蚀层,EDS和XPS检测证实该腐蚀产物为SiO2.采用摩擦磨损实验研究溶液组分对SiC的Si面磨损影响规律.结果表明,提高Na2SO4电解质溶液浓度能获得更大的磨损量,当Na…查看全部>>
Aiming at the environmental pollution of the polishing solution in chemical mechanical polishing,a single-crystal SiC chemical mechanical polishing method based on metal electrochemical corrosion is proposed.The Si surface of single-crystal SiC corrosion performance and wear performance of electrochemically corroded were investigated by corrosion experiments and wear experiments.By comparing the corrosion performance of Al,Cu,and Fe metals on the Si face in …查看全部>>
胡达;路家斌;阎秋生;骆应荣;雒梓源
广东工业大学 机电工程学院,广东 广州 510006||高性能工具全国重点实验室,广东 广州 510006广东工业大学 机电工程学院,广东 广州 510006||高性能工具全国重点实验室,广东 广州 510006广东工业大学 机电工程学院,广东 广州 510006||高性能工具全国重点实验室,广东 广州 510006广东工业大学 机电工程学院,广东 广州 510006||高性能工具全国重点实验室,广东 广州 510006广东工业大学 机电工程学院,广东 广州 510006||高性能工具全国重点实验室,广东 广州 510006
机械工程
化学机械抛光单晶SiC金属电化学腐蚀腐蚀性能磨损性能
chemical mechanical polishingsingle-crystal SiCmetal electrochemical corrosioncorrosion performancewear performance
《湖南大学学报(自然科学版)》 2024 (4)
123-131,9
国家自然科学基金资助项目(52175385),National Natural Science Foundation of China(52175385)广东省自然科学基金资助项目(2023A1515010923),Natural Science Foundation of Guangdong Province(2023A1515010923)攀登计划广东大学生科技创新战略专项(pdjh2023a0157),Special Fund Project for Science and Technology Innovation Strategy in Guangdong Province(pdjh2023a0157)
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