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低功率感耦等离子体的基本参量研究及偏离LTE的估计

梁造 孙乃坤 薛章礼

岩矿测试1988,Vol.7Issue(4):P.255-259,I0001,6.
岩矿测试1988,Vol.7Issue(4):P.255-259,I0001,6.

低功率感耦等离子体的基本参量研究及偏离LTE的估计

梁造 1孙乃坤 1薛章礼1

作者信息

  • 1. 安徽省地质实验研究所,合肥
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摘要

关键词

基本参量/电子浓度/电子温度/ICP分析/局部热平衡/机理问题/LTE/处理方式

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

梁造,孙乃坤,薛章礼..低功率感耦等离子体的基本参量研究及偏离LTE的估计[J].岩矿测试,1988,7(4):P.255-259,I0001,6.

岩矿测试

0254-5357

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