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复杂曲面光学元件高精度面形检测技术概述

刘斌 王孝坤 程强 刘忠凯 李凌众 蔡梦雪 张洛嘉 李文涵 王金成 张学军

南通大学学报(自然科学版)2024,Vol.23Issue(1):P.1-27,27.
南通大学学报(自然科学版)2024,Vol.23Issue(1):P.1-27,27.DOI:10.12194/j.ntu.20240206001

复杂曲面光学元件高精度面形检测技术概述

刘斌 1王孝坤 1程强 1刘忠凯 1李凌众 1蔡梦雪 1张洛嘉 1李文涵 1王金成 1张学军1

作者信息

  • 1. 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,吉林长春130033 中国科学院大学,北京100049 应用光学国家重点实验室,吉林长春130033 中国科学院光学系统先进制造技术重点实验室,吉林长春130033
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摘要

关键词

复杂光学曲面/面形检测/非接触检测/干涉检测/零位检测/非零位检测

分类

数理科学

引用本文复制引用

刘斌,王孝坤,程强,刘忠凯,李凌众,蔡梦雪,张洛嘉,李文涵,王金成,张学军..复杂曲面光学元件高精度面形检测技术概述[J].南通大学学报(自然科学版),2024,23(1):P.1-27,27.

基金项目

国家自然科学基金重大科研仪器研制项目(62127901) (62127901)

国家重点研发计划项目(2022YFB3403400) (2022YFB3403400)

中国科学院大学生创新实践训练计划项目(Y9I838S)。 (Y9I838S)

南通大学学报(自然科学版)

1673-2340

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