南通大学学报（自然科学版）2024，Vol.23Issue(1)：P.49-57,9.DOI:10.12194/j.ntu.20230114001
基于氮化铝薄膜的二维模态谐振器双模结构设计与仿真
摘要
关键词
氮化铝/压电谐振器/二维模态/双模/有效机电耦合系数/滤波器氮化铝/滤波器分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
赵继聪,王星宇,孙海燕..基于氮化铝薄膜的二维模态谐振器双模结构设计与仿真[J].南通大学学报（自然科学版）,2024,23(1):P.49-57,9.基金项目
国家自然科学基金面上项目(62174092)。 （62174092）
